Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
Е. В. Берлин, Л. А. СейдманAño:
2014
Editorial:
Техносфера
Idioma:
russian
Páginas:
255
ISBN 13:
9785948363691
Serie:
Мир материалов и технологий
Archivo:
PDF, 373.30 MB
IPFS:
,
russian, 2014